半导体明珠 ASML 是若何炼成的?

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作者 | 海怪

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泉源 | 脑极体(ID:unity007)

在《光刻手艺的“鬼斧”之变》中,我们已经粗略地回首了光刻机产业的发展史。在上世纪残酷的光刻机淘汰赛中,1984年最后登上光刻机舞台的荷兰光刻机公司ASML(全称Advanced Semiconductor Material Lithography,先进半导体质料光刻公司),成为最后的胜利者。 直到今天,ASML仍然是光刻机企业当中的翘楚,而且是世界上唯一能够生产最先进EUV光刻机的制造商。这个被誉为半导体皇冠上明珠的ASML,对于芯片制造产业来说到底有多主要呢?用ASML总裁彼得·温宁克在2017年接受《天下》杂志专访时说的一句话就是: “若是我们交不出EUV,摩尔定律就会今后住手。” 现在,摩尔定律的极限已实现5nm制程,靠近3nm、2nm制程工艺,想要实现这一制程节点,就一定要用到荷兰ASML的EUV光刻机。 2019年,ASML一共销售了229台光刻机,其中EUV售出26台。纵然每一台的售价高达1.2亿美元,却依然是全球顶尖芯片制造商争先订购的抢手货。以是,这26台EUV光刻机的营收已经占到ASML所有营收的三分之一,预计随着芯片制造商的换代升级,2025年将增长到四分之三。 ASML若何从飞利浦的一家不起眼的合资公司,发展为可以左右全球芯片产业款式的光刻机巨擘?到底是什么原因使得身处欧洲小国荷兰的ASML取得云云伟大的乐成,成为我们值得去回首和学习的主要经验。
两次要害选择,后进生ASML的艰难上位
若是领会光刻手艺的发展史,你就会知道光刻手艺的原理并不庞大,还在微米制程时代的芯片产业对于光刻机的要求并不高。七十年代那个时候,就连英特尔也能买来种种零件,自己组装光刻机。 不外,光刻机的专业化很快成为主流趋势。 在八十年代初,占有光刻机主要市场的照样美国的GCA、日本的尼康。1980年,尼康推出了商用的步进式光刻机Stepper,随后逐渐取代GCA,成为80年代光刻机产业的翘楚。 1984年,ASML由荷兰飞利浦公司与一家荷兰芯片装备代理商 ASMI合资建立,今后就一直专注从事光刻机装备的研发和生产。 ASML虽然有飞利浦的靠山,但并没有含着金钥匙出生。建立之初,ASML只有31名员工,办公地址也仅是飞利浦总部外面空地上的一排浅易厂房,这些至今被人们当做ASML传奇的开篇而津津乐道。那时,ASML面临自身手艺落后、市场竞争猛烈、资金不足等诸多难题。
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